EBSD技术及其他技术
EBSD技术无疑是用于在固态晶体获取晶体结构和取向信息最快和最可靠的方法。
这类型微观结构的表征可以使用传统的光学金相法，X射线衍射（XRD），中子衍射，同步辐射，TEM电子衍射，Kossel花样以及电子通道花样等技术。每种技术的优缺点如下所示：
电子背散射衍射（EBSD）
•空间分辨率良好（〜10nm）
•角分辨率良好（〜0.2°）
•可检测相、晶粒尺寸及晶粒/亚晶粒分布
•可检测标定区域（从几毫米到20纳米）织构和晶体取向
•可准确检测含量极少的相
•分析计算合理而且自动化程度高
•实用性良好
•可实现2-D和3-D 检测
•多种晶体特征的检测
•样品制备可能比较费时并且需要专业知识水平
•样品大小需要适合在扫描电子显微镜中倾斜70度
光学金相法
•样品制备简单
•空间分辨率差（~200nm）
•相鉴定需要经验
X-射线衍射
•样品制备简单
•对未知相的鉴定功能强大和迅速
•不能给出相具体分布信息
•难以获得鉴定相的尺寸信息
•漏标体积分数低的相（~ 2％）
•可能出现峰值叠加并且出现高角度反射会加重叠加现象
•光束大小限制了空间分辨率
•数据处理复杂并且需要专业知识
同步辐射
•数据统计性好
•可获得3-D信息
•空间分辨率低（5µm）
•角分辨率一般（1-2°）
•数学重构困难
•实用性差
TEM衍射（菊池花样，衍射斑点花样，会聚束电子衍射CBED）
•空间分辨率高，可至原子尺度（〜0.08nm）
•良好的精度
•分析区域有限
•样品制备困难
•自动化程度有限
•可获取部分3D信息
•数据统计性差
电子通道花样
•空间分辨率差（5-10μm）
•角分辨率一般（0.5°）
•只能获取2-D信息
•不能实现检测自动化
•数据统计性差
KosselX-射线衍射
•良好的精度（0.1°）
•空间分辨率差（10µm）
•只能获取2-D信息
•可检测材料有限
•不能实现检测自动化
•数据统计性差
