EBSD 介绍
电子背散射衍射(EBSD),也称为背散射菊池衍射(BKD),是基于扫描电子显微镜（SEM）的微观组织—晶体学分析技术用以测量微区晶体取向。
在EBSD设备中，一束电子束入射倾斜晶体样品，产生的散射电子在荧光屏上形成衍射花样。这种衍射花样携带了样品扫描区域的晶体结构和取向等晶体学信息，并且给出了亚微米级分辨率的绝对晶体取向。所以，EBSD是一个非常强大的微观组织表征工具
EBSD能用于标定和鉴别七种晶系，因此它能够用来测定
晶体取向
取向差
晶粒尺寸
整体织构
局部织构
再结晶/形变体积分数
亚结构分析
应变分析
晶界特性
重合位置点阵（CSL）晶界分布
滑移系活动性
相的鉴定
相的分布
相变转变
断裂分析
它已经应用到了很多实际工业生产中，例如：
金属加工行业
航空行业
核行业
汽车行业
微电子行业
地球科学
很多材料也已经应用EBSD进行研究，例如：
金属，合金
金属间化合物
陶瓷
薄膜
地质矿物
半导体
超导体
EBSD已经成为了扫描电子显微镜（SEM）中一项成熟的技术。现在用EBSD技术去获得样品晶体学信息是非常成熟和简单的工作。
