显微镜同轴光可以分内同轴和外同轴：内同轴是指光束通过物镜内的镜片落射到被观测物体上，外同轴是指围绕在物镜外侧的一圈光束，落射到被观测物体上。通常内同轴是点光，外同轴是环型光。同轴光的主要特点是光照角度和光学成相角度小，光线反射就小，观察物体也就更清晰，通常同轴光主要运用在透明观测物体上面，比如（晶元、LCD液晶屏幕、CCD镜头）我们使用常规的侧光源照明是不能看到透明物体上的划痕还有污点，因为侧光的反光角度不在成相角度上，所以很难分辨划痕或者污点。外同轴光也会多少存在这个问题，因为它的角度和成相角度也不是吻合的，最好的解决方法就是内同轴光，可以清晰的分辨出划痕还有污点。
