一、客户需要检测的样品情况:
1)样品分类:集成电路、微电子元器件、精密芯片、硅片、导电模组等;
2)显微检测需求:形体测量;检测金相断面中的微孔、裂缝和空洞及焊球、导电层、接点等;
3)材料属性:检测的试样较小,结构复杂,部件较多,不同材料汇集在一起。
二、样品制样和检测的难度:
电子产品体积较小,材料众多,结构复杂。对制备和检测工作带来很大的挑战。制备需要花费很多时间、耐心,同时,腐蚀也比较复杂。
1)制样的难度:
切割:晶片、玻璃和陶瓷产品切割时容易切碎和断裂;
镶嵌:容易产生机械变形及热损伤,同时难以保护薄边;
磨抛:玻璃纤维或陶瓷等脆性组件容易发生断裂;软金属或软性材料与硬度材料的混合体,磨抛时因为存在硬度差,容易造成软件材料有拖影,或者出现材料面不同组织的凹凸感;同时,悬浮液中颗粒还容易遗留在软性材料中。
2)腐蚀的难度:
不同材料的腐蚀不同,经常需要尝试不同腐蚀。
3)检测与分析难度:
对低倍和高倍物镜都要求非常高,要求高倍物镜具有很好的景深和视场。一半需要配备明暗场功能,偏振光功能和微分干涉DIC功能;
1.3、解决方案:
一套金相制样设备,包括PCB专用金相切割机,真空冷镶嵌机,金相磨抛机,配备相应金相耗材;针对多孔及需要定位研磨位置的产品,必须配置环氧树脂,环氧树脂具有流动性好,高度透明等优点,需有最终抛光步骤,及多孔氯丁橡胶抛光布加硅胶悬浮液。
一套高倍正置金相显微镜及带景深融合EFI专业图像分析软件。
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